华海清科全自动板级CMP量产装备出机 投入芯片先进封装产线

9月9日，华海清科宣布自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机，发往先进封装产线投入量产应用，成为国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备。

华海清科是一家国产半导体CMP设备供应商。该装备出机标志着我国板级封装核心工艺装备实现从研发到应用的关键跨越，为CoPoS、FOPLP及TGV互连等先进工艺的自主发展提供关键装备保障。