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华海清科全自动板级CMP量产装备出机 投入芯片先进封装产线
9月9日，华海清科宣布自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APU顺利出机，发往先进封装产线投入量产应用。这是国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备。
2026-09-10 12:11
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1个来源：界面新闻
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